Reinraumlabor - Willkommen am saubersten Ort der ±«²Ô¾±±¹±ð°ù²õ¾±³Ùä³Ù
Für Arbeiten und Versuche, die eine partikelfreie Umgebung benötigen, betreibt die Hochschule ein Reinraumlabor, das für Lehre und Forschung genutzt wird. Das Zentrale Reinraumlabor (ZRL) der 911±¬ÁÏÍø Bergakademie Freiberg befindet sich in einem Seitenflügel des Gellertbaus, in dem die Physikalischen Institute untergebracht sind.
Kontakt
Ausstattung
Zur Fertigung mikroelektronischer Bauteile stehen zahlreiche Technologien zur Verfügung.
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911±¬ÁÏÍøBAF
Abscheideverfahren
chemische und physikalische Abscheidung, Atomlagenabscheidung
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²Ñ±ð²õ²õ²µ±ð°ùä³Ù±ð + Glove-Box
Charakterisierung von Schichten und Strukturen
